Диэлектрические покрытия в планарной технологии / В. Г. Литовченко, Ю. В. Федорович
| Автор: | Литовченко, В. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Федорович, Ю. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1972, вып. 1 |
Загрузка...