О новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / В. В. Щеглова, В. И. Мякиненков
| Автор: | Щеглова, В. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мякиненков, В. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1971, вып. 10 |
Загрузка...