Диффузия мышьяка в кремнии с применением новых источников: (реферативно-аналитический обзор) / [Б. Г. Анохин, Л. Н. Хитрова]
| Автор: | Анохин, Б. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Хитрова, Л. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1979, вып. 2 |
Загрузка...