Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (реферативно-аналитический обзор) / [Е. Е. Качурина, Л. Н. Немировский, В. В. Щеглова]
| Автор: | Качурина, Е. Е.. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Немировский, Л. Н., Щеглова, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1976, вып. 9 |
Загрузка...