Газофазная эпитаксия и диффузия в электрическом поле / [Ю. Д. Чистяков, В. М. Гришин, Ю. П. Райнова
| Автор: | Чистяков, Ю. Д. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Гришин, В. М., Райнова, Ю. П., Аигина, Н. Р. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1976, вып. 5 |
Загрузка...