Свойства маскирующих пленок в производстве фотошаблонов / И. Н. Рубцов, А. Е. Лихтман, Г. И. Сапегин
| Автор: | Рубцов, И. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Лихтман, А. Е., Сапегин, Г. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1975, вып. 4 |
Загрузка...