Газовая полировка кремня / Б. В. Орион, И. М. Скворцов, Л. В. Кожитов
| Автор: | Орион, Б. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Скворцов, И. М., Кожитов, Л. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1971, вып. 8 |
Загрузка...