Проекционная фотолитография в производстве БИС: (реферативный обзор) / [И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, Л. Я. Глазштейн]
| Автор: | Рубцов, И. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Глазштейн, Л. Я., Ульянов, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1980 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1980, вып. 2 |
Загрузка...