Проекционная электронная литография: (аналитический обзор) / [В. В. Бачурин, А. К. Бельков, А. И. Пыхтунова]
| Автор: | Бачурин, В. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Бельков, А. К., Пыхтунова, А. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1980 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1980, вып. 1 |
Загрузка...