Пленки окиси алюминия в производстве полупрводниковых приборов / З. П. Вишнякова [и др.]
| Автор: | Вишнякова, З. П. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1971, вып. 4 |
Загрузка...