Использование электромагнитного излучения в газофазных процессах технологии полупроводников: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1950―1976 гг.) / [Ю. Д. Чистяков и др.
| Автор: | Чистяков, Ю. Д. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Аигина, Н. Р. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1976, вып. 5 [а] |
Загрузка...