Аппаратура для диффузии и эпитаксии: (по материалам отечественной и зарубежной печати за 1969―1972 гг.) / В. М. Гришин [и др.]
| Автор: | Гришин, В. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1975 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Полупроводниковые приборы ; 1975, вып. 3 |
Загрузка...