Маскирующие пленочные покрытия, применяемые в производстве фотошаблонов. Ч. 2: (реферативный обзор) / [М. Г. Костаньян]
| Автор: | Костаньян, М. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1981, вып. 1 |
Загрузка...