Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1982 гг.) / О. П. Глудкин
| Автор: | Глудкин, О. П. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Суслова, И. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 2 |
Загрузка...