Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / В. Ю. Васильев
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1990, вып. 3 |
Загрузка...