Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системе контактной металлизации полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 гг.) / Л. А. Сейдман
| Автор: | Сейдман, Л. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Иноземцев, Г. М. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1988, вып. 6 |
Загрузка...