Методы и средства изучения температуры в полупроводниковом производстве: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 гг.) / О. С. Моряков, С. А. Вихров
| Автор: | Моряков, О. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Вихров, С. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1987, вып. 4 |
Загрузка...