Фотохимические пленки диоксида и нитрида кремния в технологии микроэлектронных приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1988 гг.) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова
| Автор: | Бакун, А. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Щеглова, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1989, вып. 7 |
Загрузка...