Механические напряжения в тонких пленках: (реферативно-аналитический обзор) / А. С. Романов, В. В. Щеглова
| Автор: | Романов, А. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Щеглова, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1981, вып. 6 |
Загрузка...