Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.) / А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева
| Автор: | Карацюба, А. П. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Тимашева, Т. П. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1985, вып. 1 |
Загрузка...