Многоуровневая металлизация интегральных микросхем и проблемы ее надежности. Ч. 2. Материалы для многоуровневых межсоединений интегральных микросхем: (реферативно-аналитический обзор отечественной и зарубежной печати) / Л. С. Турилина,И. Н. Рубцов
| Автор: | Турилина, Л. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Рубцов, И. Н. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 6 |
Загрузка...