Применение импульсной термообработки в полупроводниковой технологии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1982 гг.) / [С. П. Верходанов, А. М. Мясников]
| Автор: | Верходанов, С. П. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мясников, А. М. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 4 |
Загрузка...