Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.) / В. В. Бачурин, В. В. Полехов, А. И. Пыхтунова
| Автор: | Бачурин, В. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Полехов, В. В., Пыхтунова, А. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1982, вып. 3 |
Загрузка...