Процессы отмывки кремниевых подложек в производстве полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / А. Е. Шуляковский, В. С. Сотников, В. И. Иванов
| Автор: | Шуляковский, А. Е. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Сотников, В. С., Иванов, В. И, Верников, М. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1984, вып. 2 |
Загрузка...