Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы) / И. А. Голод [и др.]
| Автор: | Голод, И. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1988, вып. 1 |
Загрузка...