Осаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1982 годы) / А. С. Адонин [и др.]
| Автор: | Адонин, А. С. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1983, вып. 7 |
Загрузка...