Моделирование процессов осаждения диэлектрических слоев из газовой фазы при низком давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1983 годы) / [Л. Л. Васильева и др.]
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1984, вып. 8 |
Загрузка...