Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. Ч. 2: (по данным отечественной и зарубежной литературы за период с 1975 по 1981 г.) / Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова
| Автор: | Качурина, Е. Е. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Мякиненков, В. И., Щеглова, В. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1982, вып. 7 |
Загрузка...