Тонкие пленки силицидов тугоплавких металлов. Ч. 1: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1981―1985 гг.) / Г. А. Зеликман
| Автор: | Зеликман, Г. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1986, вып. 1 |
Загрузка...