Многоуровневая металлизация интегральных микросхем и проблемы ее надежности. Ч. 1: (по материалам отечественной и зарубежной литературы за период 1969―1981 г.) / И. Н. Рубцов, Л. С. Турилина
| Автор: | Рубцов, И. Н. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Турилина, Л. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1982, вып. 4 |
Загрузка...