Электронная литография: аналитический обзор: (по данным отечественной и зарубежной литературы за 1977―1980 гг.) / В. К. Попов, М. С. Виноградова
| Автор: | Попов, В. К. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Виноградова, М. С., Невский, П. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Электроника СВЧ ; 1981, вып. 11 |
Загрузка...