Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов: (по описаниям зарубежных изобретений за 1971―1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова
| Автор: | Беляева, Н. К. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Маштакова, А. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Электроника СВЧ ; 1981, вып. 12 |
Загрузка...