Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах: [сборник статей] / ответственный редактор А. В. Раков
| Другие авторы/ответственные: | Раков, А. В., Институт общей физики имени А. М. Прохорова (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1995 |
| Язык: | Русский Английский |
| Серия: |
Труды Института общей физики
; т. 49 |
Загрузка...