Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии: [сборник статей] / ответственный редактор Ю. А. Новиков
| Другие авторы/ответственные: | Новиков, Ю. А., Институт общей физики имени А. М. Прохорова (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 2006 |
| Язык: | Русский Английский |
| Серия: |
Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова
; т. 62 |
Загрузка...