Оборудование для инанесения тонких пленок в микроэлектронике / В. В. Демиденко
| Автор: | Демиденко, В. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Информприбор, 1991 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
Технология приборостроения ; вып. 2-1991 |
Загрузка...