Прецезионная литография для производства сверхбольших интегральных микросхем / Л. А. Наумова, Т. А. Чернова
| Автор: | Наумова, Л. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Чернова, Т. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1979 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
Экономика и технология приборостроения ; вып. 6-1979 |
Загрузка...