Оптимизация технологических процессов изготовления интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко
Автор: | Лизин, А. И. |
---|---|
Другие авторы/ответственные: | Демиденко, В. В. |
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1986 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Приборы, средства автоматизации и системы управления
Экономика и технология приборостроения ; вып. 5-1986 |
Загрузка...