Современное состояние и тенденции развития технологии пелупроводниковых интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко

Автор: Лизин, А. И.
Другие авторы/ответственные: Демиденко, В. В.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления Экономика и технология приборостроения ; вып. 5-1984