Микроэлектронная технология изготовления преобразователей физических величин / О. П. Перепелицын, И. Т. Михайлов

Автор: Перепелицын, О. П.
Другие авторы/ответственные: Михайлов, И. Т.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления Экономика и технология приборостроения ; вып. 2-1984