Технология производства микроэлектронных устройств : лабораторный практикум для учащихся специальности 2-41 01 31 "Микроэлектроника" : в 2 ч. / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Минский государственный высший радиотехнический колледж". Ч. 2